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产品特性:微机电技术 | 是否进口:否 | 产地:北京 |
加工定制:否 | 品牌:格里尔斯GRYLLS | 型号:gry-330c |
类型:质量流量计 | 测量范围:0-20m3/h | 订货号:shengqi |
货号:qitililiang | 精度等级:优级 | 公称通径:8mm、12mm、 3/8 inch,快插:6mm,8mm,mm |
适用介质:气体 | 工作压力:0.3MPa | 工作温度:-20-60℃ |
规格:dse | 是否跨境货源:否 |
采用微机电MEMS技术的格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器
格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内高端的微机电流量传感器芯片,结合公司所开发的高速采样和数字补充算法,所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。设备可选配工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、气体种类切换、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485数字通信方式。
v 半导体加工
v 分析和环保
v 燃烧控制器
v 真空技术
v 表面处理
v 食品和制药
v 化工(石化)等过程控制
产品特点 Feature
v 温度和压力不敏感
v 优越的零点稳定性
v 超快的响应速度
v 良好的重复性和再现性
v 宽电压输入,多种信号输出方式
v 采用液晶触控显示和控制
v 配备高端进口比例电磁阀
产品规格 Specification
参数说明 | |
介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类 | 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 |
量 程 | 0-50/100/500/1000sccm,0-5/20SLM |
精 度 | 1% F.S. |
分辨率 | ***0.1SCCM |
响应时间 | ≤1s |
环境条件 | |
介质温度 | -20~55℃ |
工作温度 | 0~60℃ |
工作湿度 | 不结露条件下0~95%RH |
工作压力 | 0~1MPa |
储存温度 | -40~85℃ |
电气参数 | |
供电电压 | DC8-24V,纹波 ≤50mV |
功 耗 | <1.2W(有屏幕) <0.3W(无屏幕) |
启动时间 | <1S |
预热时间 | 30s 偏差小于±1%F.S. 10min 精度 |
通信接口 | |
接口类型 | D-sub 9针 |
本地控制 | 工业液晶触控屏 |
数字(RS485) | |
接口类型 | RJ45 |
通信速率 | 4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000(可通过指令或者上位机修改) |
协 议 | RS485(默认Modbus-RTU,可定制私有协议) |
设备地址 | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
节点数 | 250 |
机械参数 | |
接头类型 | 卡套:8mm、12mm、 3/8 inch,快插:6mm,8mm,其他可选 |
主体材质 | 底座:316不锈钢,外壳:碳钢 |
密封材质 | FKM氟橡胶 |
重量 | 0.75kg |