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采用微机电MEMS技术的格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器
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采用微机电MEMS技术的格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器

格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器(MassFlowController)是基于业内高端的微机电流量传感器芯片所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。

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  • 地   址:
    北京 朝阳区 三间房东路4号院3栋3层
产品特性:微机电技术是否进口:否产地:北京
加工定制:否品牌:格里尔斯GRYLLS型号:gry-330c
类型:质量流量计测量范围:0-20m3/h订货号:shengqi
货号:qitililiang精度等级:优级公称通径:8mm、12mm、 3/8 inch,快插:6mm,8mm,mm
适用介质:气体工作压力:0.3MPa工作温度:-20-60℃
规格:dse是否跨境货源:否

                                                  采用微机电MEMS技术的格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器 

格里尔斯GRYLLS-330C系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内高端的微机电流量传感器芯片,结合公司所开发的高速采样和数字补充算法,所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。设备可选配工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、气体种类切换、瞬时流量和累积流量显示等功能输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485数字通信方式。

  


v  半导体加工

v  分析和环保

v  燃烧控制器                     

v  真空技术

v  表面处理                      

v  食品和制药

v  化工(石化)等过程控制





产品特点  Feature

 

v  温度和压力不敏感

v  优越的零点稳定性

v  超快的响应速度

v  良好的重复性和再现性

v  宽电压输入,多种信号输出方式

v  采用液晶触控显示和控制

v  配备高端进口比例电磁阀

 


 


产品规格  Specification

 

 

 

参数说明

介质要求

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类

空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等

量    程

0-50/100/500/1000sccm,0-5/20SLM

精    度

1% F.S.

分辨率

***0.1SCCM

响应时间

≤1s

环境条件

介质温度

-20~55℃

工作温度

0~60℃

工作湿度

不结露条件下0~95%RH

工作压力

0~1MPa

储存温度

-40~85℃

电气参数

供电电压

DC8-24V,纹波 ≤50mV

功      耗

<1.2W(有屏幕)

<0.3W(无屏幕)

启动时间

<1S

预热时间

30s      偏差小于±1%F.S.

10min  精度

通信接口

接口类型

D-sub   9

本地控制

工业液晶触控屏

数字(RS485)

接口类型

RJ45

通信速率

4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200,

128000,230400,256000,460800,500000(可通过指令或者上位机修改)

协     议

RS485(默认Modbus-RTU,可定制私有协议)

设备地址

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

节点数

250

机械参数

接头类型

卡套:8mm、12mm、 3/8 inch,快插:6mm,8mm,其他可选

主体材质

底座:316不锈钢,外壳:碳钢

密封材质

FKM氟橡胶

重量

0.75kg

 

 




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